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1960年美國人Jack Tellerman申請了磁致伸縮位移傳感器的專利。近年來,基于磁致伸縮效應(yīng)的位移傳感器不斷涌現(xiàn)。在磁致伸縮位移傳感器的研究方面,美國位居各國之首,美國MTS公司研制的磁致伸縮位移傳感器,直管能測長達(dá)10M的機械行程,軟管可測22M的大油罐,精度達(dá)0.1mm,平均無故障時間高達(dá)20年。法國Egmpiel公司研制的位置傳感器,可測量高達(dá)50m的距離,精度達(dá)±1mm;德國圖爾克公司研制的位移傳感器量程達(dá)75~4000mm,精度優(yōu)于0.01mm,壽命達(dá)100萬次,此類傳感器廣泛用于艦艇、核艦艇中各種位移檢測與故障監(jiān)測和飛機、坦克、裝甲車輛發(fā)動機氣缸和燃油噴射系統(tǒng),也用于導(dǎo)彈發(fā)射控制裝置。
美國MTS公司最近推出了精度極高和性能極強的位移傳感器系列Temposonics R系列,此系列不僅在磁致伸縮技術(shù)上做出突破,還包含了一些較具創(chuàng)新性的設(shè)計概念。其輸出分辨率讀數(shù)標(biāo)準(zhǔn)為5μm,最高可以達(dá)2μm。能提供高達(dá)±0.01%F.S的測量精度。新一代的TemposonicsⅢ系列磁致伸縮位移傳感器是“智能型”位移傳感器,它具有高速度、高可靠性和高精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)處理和通信能力,內(nèi)置電路板中含有微處理器,并采用專用ASIC電路提高分辨力和更新時間的精度,而承受強力沖擊、振蕩及污染環(huán)境的能力則比光學(xué)尺強上好幾倍,而價格卻是光學(xué)尺的幾分之一。全新的TemposonicsⅢ和L系列均采用模塊方式組裝,這樣對生產(chǎn)過程、應(yīng)用、維修方面和未來升級提供了極大的靈活性。其主要模塊包括:基本磁致伸縮敏感元件、電子模塊、內(nèi)接線插頭、應(yīng)用外殼和控制接線頭。
我國在磁致伸縮材料研究方面起步比較晚,隨著磁致伸縮位移傳感器優(yōu)異性能被推廣,某些科研單位和高校開始進(jìn)行這方面的研究,其主要性能指標(biāo)都已接近或達(dá)到國際同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。北京科技大學(xué)新金屬材料國家重點實驗室采用一種新的制造技術(shù),制造出磁致伸縮材料的磁致伸縮系數(shù)達(dá)200-1550ppm,重復(fù)性、一致性高,工藝易于控制,成品率高,優(yōu)于國外相同尺寸產(chǎn)品的性能,并已申請了國家發(fā)明專利;哈爾濱工業(yè)大學(xué)研究以GMA(基于超磁致伸縮材料的驅(qū)動器)為作動器,采用人工模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制的超精密機床隔振系統(tǒng);海軍工程大學(xué)研究了超磁致伸縮作動器的設(shè)計方法,并將其作為振動主動控制的執(zhí)行器,取得了較好的振動控制效果。
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