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隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，位移傳感器的應(yīng)用范圍日益增大?；诖胖律炜s原理而設(shè)計(jì)的新型智能化位移傳感器具有高精度、有效傳遞距離遠(yuǎn)、可靠性高且適應(yīng)于惡劣環(huán)境等特點(diǎn)，因而被廣泛的應(yīng)用到各種領(lǐng)域，如輪船的各種閥門控制、液位與液壓系統(tǒng)、機(jī)械自動化等。磁致伸縮位移傳感器以其長距離測量、高精度、穩(wěn)定性好，正受到包括油田、煉油廠、工業(yè)控制、化工、造紙、制藥、油庫等行業(yè)，如薄鋼板加工的鋼板厚度控制；食品包裝機(jī)的進(jìn)料控制；江河大壩、橋梁的偏移量測量等等，而許多場合下豆芽求傳感器能經(jīng)受油漬、灰塵、化學(xué)溶液、高溫、高壓等的考驗(yàn)，要能準(zhǔn)確、穩(wěn)定的傳遞所測量的物理量。因此研究其校準(zhǔn)方法是很有必要的。本文采用激光干涉儀作為長度標(biāo)準(zhǔn)在導(dǎo)軌上對其進(jìn)行校準(zhǔn)。

1、基于激光干涉儀的校準(zhǔn)方法

傳感器通常由兩部分組成：一部分是套有活動磁貼的測量部，另一部分是位于測量桿上端的測量電路，當(dāng)磁鐵在測量桿不同位置移動時(shí)，測量電路輸出其位置信息。因此可以結(jié)合激光干涉儀給出的距離作為標(biāo)準(zhǔn)來對其輸出信號進(jìn)行校準(zhǔn)。目前常用來測量長度的激光干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，其準(zhǔn)確度可達(dá)0.5*10L，測量范圍達(dá)40米，分辨力0.001μm。精度比磁致伸縮位移傳感器高2-3個(gè)數(shù)量級。校準(zhǔn)時(shí)從左向右依次為磁致伸縮位移傳感器、可移動導(dǎo)軌平臺、干涉儀反射鏡、磁鐵、干涉鏡、激光干涉儀進(jìn)行布置。激光干涉儀和傳感器架設(shè)于導(dǎo)軌上。反射鏡和磁鐵一同置于可移動滑塊。

2、樣例結(jié)果分析

根據(jù)客戶送檢樣品，按照上述校準(zhǔn)方法對其進(jìn)行了校準(zhǔn)，校準(zhǔn)點(diǎn)取11個(gè)或20個(gè)，往返重復(fù)測量3次，校準(zhǔn)結(jié)果統(tǒng)計(jì)表明，傳感器非線性度在0.04%以下，小于其設(shè)計(jì)指標(biāo)的0.05%，測試的結(jié)果重復(fù)性小于0.03%，因非線性度為最大誤差除以量程，所以表現(xiàn)出量程越大非線性度越好。

3、結(jié) 論

本文對基于激光干涉儀對磁致伸縮位移/液位傳感器的校準(zhǔn)技術(shù)進(jìn)行了研究，對客戶關(guān)心的傳感器非線性度、回程差、重復(fù)性等參數(shù)的校準(zhǔn)和數(shù)據(jù)處理進(jìn)行了研究。采用激光干涉儀精密導(dǎo)軌叫囂了系統(tǒng)個(gè)誤差。采用最小二乘法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。通過對數(shù)個(gè)不同量程樣品進(jìn)行校準(zhǔn)。取得滿意的校準(zhǔn)結(jié)果，得到了客戶認(rèn)可。由于實(shí)驗(yàn)所測儀器為客戶送檢樣品，測試時(shí)間有限，還需要更多次的測試進(jìn)行進(jìn)一步的研究。